DOE衍射光学元件(Diffractive Optical Elements)是基于光的衍射原理，利用特殊的衍射设计软件进行设计，并通过传统半导体芯片制成工艺或者纳米压印，纳米注塑工艺，在玻璃，塑料基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构(一般为光栅结构)，形成同轴再现、且具有极高衍射效率的一类光学元件。DOE通过不同的设计可控制光束的发散角和形成光斑的形貌，实现输出光束形成特定图案的功能。